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      貴陽氣體公司
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      高純氮氣

      2022-08-25 10:49:30
      高純氮氣
      詳細介紹:

      貴陽工業氣體

      高純氮氣在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統需要先用高純氮置換,再用高純氦置換。氮氣是難液化的氣體。氮氣在很低溫下會液化成無色液體,進一步降低溫度時,更會形成白色晶狀固體。在生產中,高純氮氣通常采用黑色鋼瓶盛放。


      氮氣純化方法:


      1、加氫除氧法


      在催化劑作用下,普氮中殘余氧和加入的氫發生化學反應生成水,其反應式:2H2+O2=2H2O,再通過后級干燥除去水份,而獲得下列主要成份的高純氮:N2≥99.999 %,O2≤5×10-6,H2≤1500×10-6,H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.5元/m3左右。


      2、加氫除氧、除氫法


      此法分三級,第**級加氫除氧,第二級除氫,第三級除水,獲得下列組成的高純氮:N2≥99.999%,O2≤5×10-6,H2≤5×10-6,H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.6元/m3左右。


      3、碳脫氧法


      在碳載型催化劑作用下(在固定溫度下),普氮中之殘氧和催化劑本身提供的碳發生反應,生成CO2。反應式:C+O2=CO2。再經過后級除CO2和H2O獲得下列組成的高純氮氣:N2≥99.999%,O2≤5×10-6,CO2≤5×10-6,H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.6元/m3左右。

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